国家/地区 中国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/28(3) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 WANG H(4)
公开年 2013(4)
申请年 2012(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)