| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | H(4) |
| IPC大类 | H01(4) |
| IPC小类 | H01L(4) |
| IPC |
H01L021/28(3)
H01L021/336(2)
H01L029/78(2)
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| 发明人 |
WANG H(4)
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| 公开年 |
2013(4)
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| 申请年 | 2012(3) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
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WANG H, XIE X, TANG S, WU T, XIE H, LIU X, SONG Y, SUN Q
KANG X, LIU X, SUN Q, WANG H, XIE H, XIE X
CHEN Z, LIU X, WANG H, XIE H, XIE X, YU G, ZHANG Y
