| 国家/地区 | 中国(6) |
| IPC部 | C(5) |
| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
C30(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
C30B(2)
|
| IPC |
C23C016/02(2)
C30B025/18(2)
C30B029/02(2)
|
| 发明人 |
YU G(6)
|
| 公开年 | 2015(3) 2017(3) |
| 申请年 |
2015(6)
|
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)
|
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
CHEN Z, SUI Y, ZHANG H, ZHANG Y, YU G
CHEN Z, GE X, XU W, SUI Y, ZHANG H, ZHANG Y, YU G
