国家/地区 中国(6)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(2) C23(2) C30(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) C30B(2)
IPC C23C016/02(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2)
发明人 YU G(6)
公开年 2015(3) 2017(3)
申请年 2015(6)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)