国家/地区 中国(6)
IPC部 C(3) G(3) H(3)
IPC大类 C23(3) G01(3) H01(3)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) G01D(2)
IPC H01L031/09(3) C23C016/26(2) G01D005/26(2)
H01L031/0216(2) H01L031/028(2) H01L031/18(2)
发明人 ZHANG L(6)
公开年 2018(3) 2017(2)
申请年 2017(5) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)