| 国家/地区 | 中国(6) |
| IPC部 |
C(3)
G(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
C23(3)
G01(3)
H01(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
G01D(2)
|
| IPC |
H01L031/09(3)
C23C016/26(2)
G01D005/26(2)
H01L031/0216(2) H01L031/028(2) H01L031/18(2) |
| 发明人 |
ZHANG L(6)
|
| 公开年 | 2018(3) 2017(2) |
| 申请年 | 2017(5) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)
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LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
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