| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 | C(8) |
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
C03(2)
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| IPC小类 | C23C(4) C01B(3) |
| IPC | C23C016/02(3) C23C016/26(3) |
| 发明人 |
GE X(8)
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| 公开年 |
2017(8)
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| 申请年 | 2016(5) 2015(3) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)
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ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
CHEN Z, YU G, ZHANG Y, SUI Y, GE X, HU S, LIANG Y
YU G, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
