国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(4) C01(3) C03(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3)
IPC C23C016/02(3) C23C016/26(3)
发明人 GE X(8)
公开年 2017(8)
申请年 2016(5)  2015(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)