国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(4) H01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(2)
IPC C01B032/186(2)
发明人 WANG Z(4)
公开年 2017(4)
申请年 2015(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)