| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 |
C(4)
B(2)
G(2)
|
| IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
C30(2)
G01(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
C30B(2)
G01N(2) |
| IPC |
C01B032/186(3)
C23C016/26(3)
C01B032/182(2)
C23C014/06(2) |
| 发明人 |
WANG H(3)
XIE H(3)
XIE X(3)
CHEN L(2) HE L(2) JIANG M(2) TANG S(2) |
| 公开年 | 2017(2) |
| 申请年 | 2015(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
|
WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X
LI T, GUO L, LIANG C, WANG Y
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
HE L, JIANG M, LI L, XIE X, TANG S, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
