国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4) B(2) G(2)
IPC大类 C01(4) C23(4) C30(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) C30B(2)
G01N(2)
IPC C01B032/186(3) C23C016/26(3) C01B032/182(2)
C23C014/06(2)
发明人 WANG H(3) XIE H(3) XIE X(3)
CHEN L(2) HE L(2) JIANG M(2)
TANG S(2)
公开年 2017(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)