国家/地区 中国(6)
IPC部 C(5) B(3) H(2)
IPC大类 C01(5) C23(5) B82(3)
C30(2) H01(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) B82Y(3)
C30B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(4) B82Y040/00(3)
C23C016/02(3) B82Y030/00(2)
发明人 DING G(5) XIE X(5) JIANG M(4)
TANG S(3) CHEN J(2) DI Z(2)
GONG Q(2) SUN L(2) WANG S(2)
公开年 2012(6)
申请年 2012(4)  2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)