国家/地区 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 美国(3) 中国(2) 日本(2)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C01B032/182(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2015(4)
专利权人 UNIV MANCHESTER(4)