国家/地区 中国(7)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 H01(4) C23(3) C01(2)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) H01G(2)
H01L(2)
IPC C23C014/06(3) C23C014/35(3) C23C016/34(3)
C01B031/04(2) H01G011/86(2) H01L021/02(2)
发明人 HAO Y(6) ZHANG J(6) NING J(4)
WANG D(4) CHEN Z(3) LU Q(3)
LV J(3) MU M(3)
公开年 2016(7)
申请年 2016(6) 
专利权人 UNIV XIDIAN(7)