国家/地区 中国(8)
IPC部 H(5) B(3)
IPC大类 H01(5)
IPC小类 H01L(5)
IPC H01L031/18(3) H01L031/028(2) H01L031/0352(2)
发明人 SHAN D(8)
公开年 2022(4) 2018(2)
申请年 2022(4)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 YANGZHOU POLYTECHNIC INST(8)