国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(4) B(3) G(3)
H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 CHANG C(6)
公开年 2021(3)
申请年 2015(2)  2021(2) 
专利权人 HEWLETTPACKA.(2)