国家/地区 中国(10)
IPC部 C(7) H(3) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(3)
IPC小类 C01B(5) H01L(3)
IPC C01B031/04(4) H01L029/16(2) H01L029/78(2)
发明人 CHEN Z(10)
公开年 2012(10)
申请年 2011(5)  2012(5) 
专利权人 UNIV CHANGZH.(3) BEIJING ZHON.(2) CHINESE ACAD.(2) UNIV SUZHOU .(2)