国家/地区 韩国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L051/00(2)
H01L051/05(2)
发明人 CHO B J(4)
公开年 2018(3)
申请年 2017(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED SCI TECHNOLOGY INST(4)