国家/地区 韩国(4) 美国(2)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
G(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) B01(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(3) B01J(2) C01G(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2) H01L051/52(2)
发明人 CHO S(4)
公开年 2017(4)
申请年 2016(4)
专利权人 HANWHA TECHW.(2) UNIV GACHON .(2)