国家/地区 中国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L031/0216(3) H01L031/18(3) H01L031/0224(2)
发明人 DAI X(4)
公开年 2017(4)
申请年 2016(4) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(4)