国家/地区 中国(21)
IPC部 H(8) C(6) A(5)
B(5) G(2)
IPC大类 H01(6) A61(3) C01(3)
C23(2) G01(2) H05(2)
IPC小类 A61B(3) C01B(3) H01L(3)
H01M(3) C23C(2) G01N(2)
H05B(2)
IPC A61B005/263(2) A61B005/28(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2) H05B003/02(2)
H05B003/03(2)
发明人 DENG J(21)
公开年 2022(12) 2023(9)
申请年 2022(21)
专利权人 UNIV BEIJING.(4) CHONGQING WE.(2) HUAIBEI YUXI.(2) UNIV GUILIN .(2)