国家/地区 中国(7) 世界知识产权组织(5) 美国(3)
IPC部 C(6) B(3)
IPC大类 C01(5) C23(5) B82(3)
C30(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) B82Y(3)
C30B(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(4) B82Y040/00(3)
C23C016/02(3) B82Y030/00(2)
发明人 DING G(7)
公开年 2012(7)
申请年 2012(5)  2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)