| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(2) 英国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(3) |
| IPC大类 |
C01(3)
H01(3)
C23(2)
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| IPC小类 |
C01B(3)
H01L(3)
C23C(2)
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| IPC |
C01B031/04(3)
H01L021/02(3)
C23C016/26(2)
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| 发明人 |
DONG G(4)
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| 公开年 |
2013(4)
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| 申请年 | 2012(2) 2013(2) |
| 专利权人 | RIJKSUNIV LE.(4) |
