国家/地区 欧洲专利局(EPO)(2) 英国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(3) H01L021/02(3) C23C016/26(2)
发明人 DONG G(4)
公开年 2013(4)
申请年 2012(2)  2013(2) 
专利权人 RIJKSUNIV LE.(4)