国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 B(5) C(4) H(3)
IPC大类 B82(3) C01(3) H01(3)
C23(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) C23C(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(3) B82Y010/00(2) C01B031/02(2)
C23C016/26(2)
发明人 DU Z(6)
公开年
申请年
专利权人 UNIV NANYANG.(2) UNIV SINGAPO.(2)