国家/地区 中国(15) 台湾(3) 美国(3)
IPC部 C(8) H(7) B(5)
G(2)
IPC大类 H01(6) C01(4) B01(3)
B82(2) C07(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) B01J(2)
B82Y(2) C07C(2)
IPC C01B032/184(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/182(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
H01L021/335(2) H01L021/78(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/417(2) H01L029/423(2)
H01L029/66(2) H01L029/76(2) H01L029/772(2)
发明人 FAN S(17)
公开年 2021(10) 2022(7)
申请年 2021(17)
专利权人 HON HAI PREC.(3) UNIV TSINGHU.(3)