国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(3) G01N(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 FANG Y(6)
公开年 2014(3) 2013(2)
申请年 2013(6)
专利权人 NAT CENT NAN.(4)