国家/地区 美国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/336(3) H01L021/28(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2) H01L029/778(2) H01L029/78(2)
H01L029/786(2)
发明人 FARMER D B(4)
公开年
申请年
专利权人 INT BUSINESS.(4) IBM UK LTD(2)