国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) B(2) G(2)
H(2)
IPC大类 B01(2) C09(2) G03(2)
H01(2)
IPC小类 G03F(2)
IPC G03F007/20(2)
发明人 GU M(7)
公开年 2022(7)
申请年 2022(5)  2021(2) 
专利权人 GU M(3) LUAN H(3) ZHANG Q(3) CHEN X(2)