| 国家/地区 | 中国(7) |
| IPC部 |
C(4)
B(2)
G(2)
H(2) |
| IPC大类 |
B01(2)
C09(2)
G03(2)
H01(2) |
| IPC小类 | G03F(2) |
| IPC | G03F007/20(2) |
| 发明人 |
GU M(7)
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| 公开年 |
2022(7)
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| 申请年 | 2022(5) 2021(2) |
| 专利权人 |
GU M(3)
LUAN H(3)
ZHANG Q(3)
CHEN X(2)
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GU M, ZHANG Q, CHEN X, LUAN H, WAN Z
GU M, ZHANG Q, LUAN H, CHEN X
YAN J, WU H, GU M, QIN J, LI Y, CHEN Y, CHEN L
