国家/地区 日本(4) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
发明人 HASHIMOTO A(4)
公开年 2009(2) 2010(2)
申请年 2007(2)  2010(2) 
专利权人 OKI DATA COR.(2) OKI DATA KK(2) OKI DIGITAL .(2) UNIV FUKUI(2)