国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 C01(5) H01(4) C07(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) C08G(2)
IPC C01B032/182(4) H01L051/05(3) H01L021/336(2)
H01L029/786(2) H01L051/30(2)
发明人 HAYASHI H(5)
公开年 2022(3) 2020(2)
申请年 2019(2)  2020(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(5)