国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(4) G(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L021/02(2)
发明人 KANG J(4)
公开年 2018(4)
申请年 2017(4)
专利权人