国家/地区 日本(5) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5) H(4) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(4) B82(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) B82Y(2)
IPC C01B031/02(5) H01L021/336(4) H01L029/78(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/285(2) H01L029/06(2)
H01L029/417(2)
发明人 KAWABATA A(5)
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2012(2)  2013(2) 
专利权人 DOKURITSU GY.(4) FUJITSU LTD(2) NAT INST ADV.(2)