| 国家/地区 | 日本(5) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 |
C01(5)
H01(4)
B82(2)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
H01L(4)
B82Y(2)
|
| IPC |
C01B031/02(5)
H01L021/336(4)
H01L029/78(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2) H01L021/28(2) H01L021/285(2) H01L029/06(2) H01L029/417(2) |
| 发明人 |
KAWABATA A(5)
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| 公开年 | 2013(2) 2014(2) |
| 申请年 | 2012(2) 2013(2) |
| 专利权人 | DOKURITSU GY.(4) FUJITSU LTD(2) NAT INST ADV.(2) |
AWANO Y, NARUTSUKA S, KAWABATA A, MARUYAMA T, NARIZUKA S, NARITSUKA S
