| 国家/地区 | 韩国(6) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(5)
A(4)
H(3)
G(2) |
| IPC大类 |
C01(4)
A61(3)
C12(3)
H01(3) C23(2) G01(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
A61B(3)
H01L(3)
C23C(2) G01N(2) |
| IPC |
C01B031/04(4)
C01B032/182(2)
C23C014/06(2)
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| 发明人 |
KIM D(6)
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| 公开年 | 2016(3) 2017(2) |
| 申请年 | 2015(3) 2016(2) |
| 专利权人 |
BASIC SCI INST(6)
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KIM D, CHANGSOONCHOI, KIM M
KIM D, HYEON T, CHOI S, KIM S, CHO K
KIM D, HYEON T, PARK M, SON D, SONG J
KIM D, HYEON T, CHOI S, LEE H, SONG C, LEE Y
KIM D, HYEON T, CHOI S, LEE H, CHOI T
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G
