国家/地区 韩国(6) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2)
IPC部 C(5) A(4) H(3)
G(2)
IPC大类 C01(4) A61(3) C12(3)
H01(3) C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(4) A61B(3) H01L(3)
C23C(2) G01N(2)
IPC C01B031/04(4) C01B032/182(2) C23C014/06(2)
发明人 KIM D(6)
公开年 2016(3) 2017(2)
申请年 2015(3)  2016(2) 
专利权人 BASIC SCI INST(6)