国家/地区 韩国(5) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2)
发明人 KIM H W(5)
公开年 2016(5)
申请年 2015(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV HANYANG.(2)