| 国家/地区 | 韩国(6) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
G(3)
B(2)
C(2)
H(2) |
| IPC大类 |
G03(3)
C09(2)
H01(2)
|
| IPC小类 | G03F(3) |
| IPC | G03F001/22(2) G03F001/62(2) |
| 发明人 |
KIM J K(6)
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| 公开年 | 2022(4) 2021(2) |
| 申请年 |
2020(6)
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| 专利权人 | FINE SEMITEC.(3) |
KIMCHUNG, YU L, CHO S J, KIM K S, LEE S Y, SEO K, MOON S Y, CHOI J H, KIM J K
YU L, CHO S J, KIM K S, KIMCHUNG, SEO K, CHOI J H, MOON S Y, KIM J K
YU L, CHO S J, KIM K S, SEO K, MOON S Y, KIM J K
PARK J H, KYU K, YI G R, KIM J K
KIM J K, SUNG Y E, LEE K S, KIM M J, KIM S J, KIMJAEKUK, SUNG Y, JIN C, KIM M, LI G, KIM J
