国家/地区 韩国(6) 世界知识产权组织(2)
IPC部 G(3) B(2) C(2)
H(2)
IPC大类 G03(3) C09(2) H01(2)
IPC小类 G03F(3)
IPC G03F001/22(2) G03F001/62(2)
发明人 KIM J K(6)
公开年 2022(4) 2021(2)
申请年 2020(6)
专利权人 FINE SEMITEC.(3)