国家/地区 韩国(4) 美国(2)
IPC部 H(4) C(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人 KIM Y S(4)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(4)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)