国家/地区 日本(5)
IPC部 H(4) B(3) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(4) C01(3) B82(2)
C30(2) G01(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) B82Y(2)
C30B(2) G01J(2)
IPC H01L051/05(3) H01L051/30(3) B82Y020/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/186(2) G01J001/02(2)
H01L021/336(2) H01L029/786(2) H01L031/08(2)
发明人 KONDO O(5)
公开年 2022(4)
申请年 2021(5) 
专利权人 FUJITSU LTD(5)