| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 |
H(4)
B(3)
C(3)
G(2) |
| IPC大类 |
H01(4)
C01(3)
B82(2)
C30(2) G01(2) |
| IPC小类 |
H01L(4)
C01B(3)
B82Y(2)
C30B(2) G01J(2) |
| IPC |
H01L051/05(3)
H01L051/30(3)
B82Y020/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/186(2) G01J001/02(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2) H01L031/08(2) |
| 发明人 |
KONDO O(5)
|
| 公开年 | 2022(4) |
| 申请年 | 2021(5) |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(5) |
HAYASHI K, KONDO O
ASO H, KONDO O, HAYASHI K, SUDA S
