国家/地区 日本(4)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
G(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C01(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2) C01B(2)
G01J(2)
IPC H01L051/05(3) H01L051/30(3) B82Y020/00(2)
B82Y040/00(2) G01J001/02(2) H01L021/336(2)
H01L029/786(2) H01L031/08(2)
发明人 KONDO O(4)
公开年 2022(4)
申请年 2021(4) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)