国家/地区 韩国(6) 美国(3)
IPC部 H(5) C(3) G(3)
B(2)
IPC大类 H01(4) C01(3) G01(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) G01N(2)
IPC C01B031/04(3) H01L029/16(2)
发明人 LEE D(6)
公开年 2017(5)
申请年 2016(6)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)