国家/地区 韩国(6) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3) D(3) H(3)
IPC大类 C01(2) D01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) D01F(2) H01L(2)
IPC D01F009/12(2) H01L029/16(2)
发明人 LEE D(6)
公开年 2021(3)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(6)