| 国家/地区 | 韩国(5) 美国(2) |
| IPC部 |
H(5)
C(3)
G(3)
B(2) |
| IPC大类 |
H01(4)
C01(3)
G01(2)
H05(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
H01L(3)
G01N(2)
|
| IPC | C01B031/04(3) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
LEE D(6)
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| 公开年 |
2017(6)
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| 申请年 | 2016(5) |
| 专利权人 |
MIN E H, LEE D, KIM M S, NOH H S, HAN H J, LEE D W
KIM C, LIM C, JUNG Y M, LEE D, CHOI J, SEO M, LEE T, KIM J H, LEE S, YOUNG T B
KIM B, HWANG W, KIM S, LEE D, HAN K, HWANG B
