| 国家/地区 | 韩国(6) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(4)
|
| IPC大类 |
B01(4)
C01(4)
C23(4)
H01(4) |
| IPC小类 |
B01J(4)
C01B(4)
C23C(4)
H01L(4) |
| IPC |
B01J019/08(4)
C01B031/02(4)
C23C016/26(4)
H01L021/268(2) H01L021/336(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
LEE K J(6)
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| 公开年 | 2012(3) 2013(3) |
| 申请年 |
2011(6)
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| 专利权人 | KOREA ADV IN.(5) KOREA ADVANC.(2) |
SUH E K, LEE K J, SEO T H
LEE K, CHOI I, LEE K J, CHOI I S, JAE L G, SEONG C I
LEE K, CHOI I, CHOI S, HONG B, LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
