| 国家/地区 | 韩国(8) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(6)
C(6)
H(5)
|
| IPC大类 |
C23(6)
B01(5)
C01(5)
H01(5) B82(2) |
| IPC小类 |
C23C(6)
B01J(5)
C01B(5)
H01L(5) B82Y(2) H01B(2) |
| IPC |
C23C016/26(6)
B01J019/08(5)
C01B031/02(5)
H01L021/336(3) H01L029/78(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) H01L021/027(2) H01L021/268(2) |
| 发明人 |
LEE K J(8)
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| 公开年 | 2012(5) 2013(2) |
| 申请年 | 2011(5) 2010(3) |
| 专利权人 |
KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(8)
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LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
LEE K, CHOI I, LEE K J, CHOI I S, JAE L G, SEONG C I
LEE K, CHOI I, CHOI S, HONG B, LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J
