国家/地区 韩国(8) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6) C(6) H(5)
IPC大类 C23(6) B01(5) C01(5)
H01(5) B82(2)
IPC小类 C23C(6) B01J(5) C01B(5)
H01L(5) B82Y(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(6) B01J019/08(5) C01B031/02(5)
H01L021/336(3) H01L029/78(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) H01L021/027(2) H01L021/268(2)
发明人 LEE K J(8)
公开年 2012(5) 2013(2)
申请年 2011(5)  2010(3) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(8)