国家/地区 韩国(5)
IPC部 H(4) B(3) C(3)
IPC大类 H01(4) B01(3) C01(3)
C23(3)
IPC小类 H01L(4) B01J(3) C01B(3)
C23C(3)
IPC B01J019/08(3) C01B031/02(3) C23C016/26(3)
H01L021/336(3) H01L029/78(3) H01L021/027(2)
H01L021/268(2)
发明人 LEE K J(5)
公开年 2012(5)
申请年 2011(3)  2010(2) 
专利权人 KOREA ADV IN.(5)