国家/地区 韩国(4) 美国(3)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 H01L(4) C01B(3)
IPC H01L029/16(3) C01B031/04(2) H01L029/66(2)
发明人 LEE S(6)
公开年 2017(6)
申请年 2016(6)
专利权人 KOREA INST S.(2)