国家/地区 台湾(5)
IPC部 H(4) C(2) G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(4) G01N(2)
IPC H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/778(2)
发明人 LIN S(5)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人