国家/地区 中国(4)
IPC部 C(2) G(2)
IPC大类 G03(2)
IPC小类 G03F(2)
IPC G03F007/20(2)
发明人 LUAN H(4)
公开年 2022(4)
申请年 2022(3) 
专利权人 GU M(3) LUAN H(3) ZHANG Q(3) CHEN X(2)