国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) B(3) H(2)
IPC大类 B01(3) C02(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 B01J(3) C02F(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC B01J020/26(2) B01J020/30(2) C02F001/28(2)
C02F001/62(2) C23C016/01(2) C23C016/26(2)
C23C016/56(2) H01L021/336(2)
发明人 MA P(7)
公开年 2015(4) 2014(3)
申请年 2014(7)
专利权人 INST MICROEL.(4) UNIV JIANGNA.(2)