| 国家/地区 |
韩国(5)
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| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | C23(3) H01(3) |
| IPC小类 | C23C(3) H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
MUN J H(5)
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| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 | KOREA ADVANC.(3) KOREA ADV IN.(2) |
HAHN S K, SHIN S B, MUN J H, KIM T Y, MOON J H, KIM T
