国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C23(3) H01(3)
IPC小类 C23C(3) H01L(2)
IPC
发明人 MUN J H(5)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA ADVANC.(3) KOREA ADV IN.(2)