| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 | H(5) C(3) |
| IPC大类 | H01(5) C01(3) |
| IPC小类 | H01L(5) C01B(3) |
| IPC |
H01L029/786(4)
C01B031/02(3)
H01L029/06(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L051/40(3) H01L021/02(2) H01L021/336(2) H01L029/66(2) |
| 发明人 |
OFUCHI M(5)
|
| 公开年 | 2009(2) 2015(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(5) |
SATO S, JIPPO H, OHFUCHI M, OFUCHI M
HARADA N, OFUCHI M
