国家/地区 日本(5)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(5) C01(3)
IPC小类 H01L(5) C01B(3)
IPC H01L029/786(4) C01B031/02(3) H01L029/06(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L051/40(3)
H01L021/02(2) H01L021/336(2) H01L029/66(2)
发明人 OFUCHI M(5)
公开年 2009(2) 2015(2)
申请年
专利权人 FUJITSU LTD(5)