| 国家/地区 |
日本(5)
|
| IPC部 |
H(5)
B(3)
C(3)
|
| IPC大类 |
H01(5)
C01(3)
B82(2)
|
| IPC小类 |
H01L(5)
C01B(3)
B82Y(2)
|
| IPC |
H01L029/786(4)
H01L021/336(3)
H01L029/06(3)
B82Y099/00(2) C01B031/02(2) H01L021/20(2) |
| 发明人 |
OKAI M(5)
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| 公开年 | 2010(3) 2011(2) |
| 申请年 | 2009(2) 2010(2) |
| 专利权人 |
OKAI M(5)
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OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S
HIROKA M, KYOTANI T, OKAI M, ORIKASA H, ORIGASA H, HIROOKA M
