国家/地区 韩国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC H01L029/16(2)
发明人 PARK J(5)
公开年 2018(4)
申请年 2017(5)
专利权人 ELECTRONICS .(2)