| 国家/地区 | 韩国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
H01(2)
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| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | H01L029/16(2) |
| 发明人 |
PARK J(5)
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| 公开年 | 2018(4) |
| 申请年 |
2017(5)
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| 专利权人 | ELECTRONICS .(2) |
LEE J, KIM G, LEE W, KIM M, PARK J, LEE J H, KIM G S, LEE W J, KIM M J, PARK J Y
LEE W S, KO Y, BAIK Y J, PARK J, LEE K S, KIM I, JEONG D S, KO Y J, PARK J K
PARK J, GAO H, GUIMARAES M H D, RALPH D C, KANG K, XIE S
