| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 台湾(2) |
| IPC部 | H(4) G(2) |
| IPC大类 | H01(4) G01(2) |
| IPC小类 | H01L(4) G01J(2) |
| IPC |
H01L027/146(3)
H01L029/16(3)
G01J001/04(2)
G01J001/42(2) G01J003/51(2) |
| 发明人 |
ROUVALA M(4)
|
| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 | NOKIA CORP(3) NOKIA TECHNO.(3) |
POHJONEN H, KALLIOINEN S, ROUVALA M A K, POHJONEN K, ROUVALA M
VOUTILAINEN M, ROUVALA M, PASANEN P, PASANE P
