国家/地区 日本(4) 美国(3) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L029/786(3)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
H01L021/02(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2)
H01L029/06(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
H01L051/40(2)
发明人 SATO S(4)
公开年 2014(2)
申请年 2014(4)
专利权人 FUJITSU LTD(4) NAT INST ADV.(3) DOKURITSU GY.(2)