国家/地区 日本(5)
IPC部 G(4) H(3) C(2)
IPC大类 G01(4) H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) G01N(2)
G01R(2)
IPC C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/182(2)
G01N027/00(2) G01N027/12(2) G01R033/09(2)
H01L043/08(2) H01L043/10(2)
发明人 SATO S(5)
公开年 2018(3) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人 FUJITSU LTD(5)