| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 |
G(4)
H(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
G01(4)
H01(3)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
C01B(2)
G01N(2)
G01R(2) |
| IPC |
C01B032/15(2)
C01B032/18(2)
C01B032/182(2)
G01N027/00(2) G01N027/12(2) G01R033/09(2) H01L043/08(2) H01L043/10(2) |
| 发明人 |
SATO S(5)
|
| 公开年 | 2018(3) 2017(2) |
| 申请年 |
2016(5)
|
| 专利权人 | FUJITSU LTD(5) |
